熱處理爐加熱元件在使用前，最后進行預先氧化處理和交替的進行氧化處理，使元件表面生成一層較純的氧化膜，起到一定程度的保護作用。鐵鉻鋁合金純的氧化膜呈灰色，主要成分為νAl2O3和α- Al2O3。鎳鉻合金純的氧化膜呈墨綠色，主要成分為Cr2O3。這種純的氧化膜組織是致密的，而且是難熔的。它緊密地附著在熱處理爐加熱元件的基體上，具有一定的抗飾性，因而起到某種程度的保護作用。

   熱處理爐中合金元件預先氧化處理的方法，是將安裝完畢的合金元件，在烘干過的電阻爐內通電加熱，使元件表面溫度低于其最高使用溫度100℃～200℃，保溫7h～10h，然后隨爐緩冷即可。0Cr25Al5合金元件可在1050℃進行之。